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Spectroscopic ellipsometry characterization of coatings on biaxially anisotropic polymeric substrates

机译：双轴各向异性聚合物基体上涂层的椭圆偏振光谱表征

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Graphical abstract Display Omitted Highlights • Four strategies compared to characterize Al2O3 thin films on anisotropic polymeric substrates. • Film thickness and optical constants are determined with spectroscopic ellipsometry (SE) and Mueller matrix methods. • Strategies are provided for both ex situ and in-line measurements. Abstract Spectroscopic ellipsometry characterization of coatings on polymeric substrates can be challenging due to the substrate optical anisotropy. We compare four characterization strategies for thin coating layers on anisotropic polymeric substrates with regard to accuracy of the resulting layer thickness and coating optical constants. Each strategy differs in measured data type, model construction, implementation complexity, and inherent capabilities and sensitivity to the coating properties. Best practices and limitations are discussed for each strategy.
机译： 图形摘要 < ce：simple-para id =“ spar0085” view =“ all” /> 省略显示 突出显示 • < ce：para id =“ par0005” view =“ all”>比较表征Al 2 O 3 在各向异性聚合物基体上的薄膜。 • 使用光谱仪确定薄膜厚度和光学常数椭偏（SE）和Mueller矩阵方法。 • 提供了用于异地和在线测量的策略。 摘要 聚合物基质上涂层的椭圆偏振光谱表征可能具有挑战性，因为对衬底的光学各向异性。我们比较了各向异性聚合物基体上薄涂层的四种表征策略，关于所得层厚度和涂层光学常数的准确性。每种策略在测量数据类型，模型构造，实现复杂性以及固有功能和对涂层属性的敏感性方面有所不同。讨论了每种策略的最佳做法和局限性。

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