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Mossbauer spectroscopy study of surfactant sputtering induced Fe suicide formation on a Si surface

机译：Mossbauer光谱研究表面活性剂溅射诱导Si表面硅化铁的形成

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摘要

The formation of Fe silicides in surface ripple patterns, generated by erosion of a Si surface with keV Ar and Xe ions and simultaneous co-deposition of Fe, was investigated with conversion electron Mossbauer spectroscopy, atomic force microscopy and Rutherford backscattering spectrometry. For the dot and ripple patterns studied, we find an average Fe concentration in the irradiated layer between 6 and 25 at.%. The Mossbauer spectra clearly show evidence of the formation of Fe disilicides with Fe content close to 33 at.%, but very little evidence of the formation of metallic Fe particles. The results support the process of ion-induced phase separation toward an amorphous Fe disilicide phase as pattern generation mechanism. The observed amorphous phase is in agreement with thermodynamic calculations of amorphous Fe silicides. (C) 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：用转换电子Mossbauer光谱，原子力显微镜和Rutherford背向散射光谱法研究了由硅酸与keV Ar和Xe离子腐蚀和同时共沉积Fe形成的表面波纹图案中的Fe硅化物的形成。对于所研究的点和波纹图案，我们发现被辐照层中的平均铁浓度在6至25 at。％之间。 Mossbauer光谱清楚地显示出形成了Fe含量接近33 at。％的Fe二硅化物的证据，但是几乎没有形成金属Fe颗粒的证据。结果支持离子诱导相分离为非晶二硅化铁相作为图案生成机理。观察到的非晶相与非晶硅化铁的热力学计算相符。 （C）2015 Elsevier B.V.保留所有权利。

著录项

  • 来源
    《Applied Surface Science》 |2015年第1期|493-497|共5页
  • 作者

    Beckmann C.; Zhang K.; Hofsaess H.; Bruesewitz C.; Vetter U.; Bharuth-Ram K.;

  • 作者单位

    Univ Gottingen, Inst Phys 2, D-37077 Gottingen, Germany;

    Univ Gottingen, Inst Phys 2, D-37077 Gottingen, Germany;

    Univ Gottingen, Inst Phys 2, D-37077 Gottingen, Germany;

    Univ Gottingen, Inst Phys 2, D-37077 Gottingen, Germany;

    Univ Gottingen, Inst Phys 2, D-37077 Gottingen, Germany;

    Durban Univ Technol, Dept Phys, ZA-4001 Durban, South Africa;

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