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Synthesis And Characterization Of Tio_2 Nanotubes For Humidity Sensing

机译：Tio_2纳米管的合成与表征

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The highly ordered TiO_2 thin films are prepared by anodic oxidation and calcined at 300, 400, 500 and 600 ℃, respectively. X-ray diffraction (XRD) and field emission scanning electron microscopy (FESEM) are employed to analyze the structure and the morphology of the TiO_2 films. We design a novel sensor to investigate the humidity sensing behaviours of the samples. The samples calcined at 600 ℃ show high sensitivity with nearly two orders change in the resistance and short response and recovery time (< 190 s) during the relative humidity variation from 11 to 95%.
机译：通过阳极氧化制备高度有序的TiO_2薄膜，并分别在300、400、500和600℃下煅烧。利用X射线衍射（XRD）和场发射扫描电子显微镜（FESEM）分析了TiO_2薄膜的结构和形貌。我们设计了一种新颖的传感器来调查样品的湿度传感行为。在600℃下煅烧的样品表现出高灵敏度，在相对湿度从11％到95％的变化范围内，电阻改变了近两个阶，反应和恢复时间（<190 s）缩短。

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