Reply by Liu et al.

Lihua Liu; Yuxin Wang; Kecheng Feng; Yingai Li; Weiqing Li; Chunhong Zhao; Yongnian Zhao

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Reply by Liu et al.

机译：Liu等人的回复。

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The experimental results indicate that the composition of our samples is homogeneous. We have explained the reason why the composition of the BCN film is influenced by the r.f. power. The Fourier transformed infrared (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) measurements suggest that the samples are atomic-level hybrids of B, C and N.

机译：实验结果表明，我们样品的成分是均匀的。我们已经解释了BCN膜的成分受射频影响的原因。功率。傅立叶变换红外（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量表明，样品是B，C和N的原子级混合物。

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来源
《Applied Surface Science》 |2007年第10期|p.4816-4817|共2页
作者
Lihua Liu; Yuxin Wang; Kecheng Feng; Yingai Li; Weiqing Li; Chunhong Zhao; Yongnian Zhao;
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作者单位

National Key Laboratory of Superhard Materials, Jilin University, Changchun, Jilin 130012, China;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类应用物理学;
关键词
homogeneity; hybrids; peak;

机译：同质;杂合;峰;

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