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Caesium sputter ion source compatible with commercial SIMS instruments

机译：铯溅射离子源与商用SIMS仪器兼容

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A simple design for a caesium sputter cluster ion source compatible with commercially available secondary ion mass spectrometers is reported. This source has been tested with the Cameca IMS 4f instrument using the cluster Si-n(-) and Cu-n(-) ions, and will shortly be retrofitted to the floating low energy ion gun (FLIG) of the type used on the Cameca 4500/4550 quadruple instruments. Our experiments with surface characterization and depth profiling conducted to date demonstrate improvements of analytical capabilities of the SIMS instrument due to the non-additive enhancement of secondary ion emission and shorter ion ranges of polyatomic projectiles compared to atomic ions with the same impact energy. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：据报道，与市售的二次离子质谱仪兼容的铯溅射簇离子源的简单设计。该离子源已使用Cameca IMS 4f仪器使用簇Si-n（-）和Cu-n（-）离子进行了测试，不久后将被改装为浮动低能离子枪（FLIG） Cameca 4500/4550四重仪器。迄今为止，我们进行的表面表征和深度剖析实验证明，与具有相同冲击能的原子离子相比，由于二次离子发射的非累加增强以及多原子弹丸的离子范围更短，SIMS仪器的分析能力得到了改善。 （c）2006 Elsevier B.V.保留所有权利。

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