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Synthesis of LECBD grown cluster assembled SeO2 thin films

机译：LECBD生长簇组装SeO2薄膜的合成

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Cluster assembled selenium oxide (SeO2) thin films, as a function of oxygen flow pressure (OFP) have been synthesized by a low energy cluster beam deposition (LECBD) technique. The OFP dependent surface morphology leading to well separated nanoclusters (size ranging from 50 to 200 nm) and fractal features are confirmed from transmission electron microscopic (TEM) measurements. A diffusion limited aggregation (DLA) mediated fractal growth with dimension as 1.71 +/- 0.01 has been observed for high OFP (60 mbar). Structural analysis by glancing angle X-ray diffraction (GXRD) and selected area diffraction (SAD) studies identify the presence of tetragonal phase SeO2 in the deposit. Micro-Raman studies indicate the shifts in bending and stretching vibrational phonon modes in cluster assembled SeO2 as compared to their bulk counter part due to the phonon confinement effect. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：已经通过低能簇束沉积（LECBD）技术合成了作为氧气流量压力（OFP）函数的簇组装氧化硒（SeO2）薄膜。通过透射电子显微镜（TEM）测量证实了OFP依赖的表面形态，导致了良好分离的纳米团簇（尺寸范围为50至200 nm）和分形特征。对于高OFP（60 mbar），已观察到扩散限制聚集（DLA）介导的分形生长，尺寸为1.71 +/- 0.01。通过掠射角X射线衍射（GXRD）和选定区域衍射（SAD）研究进行的结构分析确定了沉积物中存在四方相SeO2。微观拉曼研究表明，由于声子限制效应，与簇体组装的SeO2相比，簇组装的SeO2的弯曲和拉伸振动声子模式发生了变化。 （c）2006 Elsevier B.V.保留所有权利。

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