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Preparation and characterization of carbonate terminated polycrystalline Al2O3/Al films

机译：碳酸盐封端的多晶Al2O3 / Al膜的制备与表征

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X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was applied to investigate the surface reactivity of polycrystalline Al films in contact with a gas mixture of carbon dioxide and oxygen at room temperature. Based on the characterization of interactions between these substrates and the individual gases at selected exposures, various surface functionalities were identified. Simultaneously dosing both carbon dioxide and oxygen is shown to create surface-terminating carbonate species, which contribute to inhibiting the formation of an Al2O3 layer. Finally, a reaction scheme is suggested to account for the observed dependence of surface group formation on the dosing conditions. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：X射线光电子能谱（XPS）用于研究室温下与二氧化碳和氧气的气体混合物接触的多晶Al膜的表面反应性。基于这些底物与选定暴露条件下的各种气体之间的相互作用的特征，确定了各种表面功能。显示同时投加二氧化碳和氧气会产生表面终止的碳酸盐物质，这有助于抑制Al2O3层的形成。最后，提出了一种反应方案以说明所观察到的表面基团形成对投配条件的依赖性。 （c）2005 Elsevier B.V.保留所有权利。

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