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Applications of laser lithography on oxide film to titanium micromachining

机译：氧化膜上激光光刻技术在钛微加工中的应用

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Due to its good biocompatibility titanium is widely used for dental and orthopaedics implants and for biomedical microsystems. For these applications one needs specific micromachining methods. A new four-step method for electrochemical micromachining of titanium is presented here, which implies anodic oxidation, Excimer laser sensitising irradiation, anodic dissolution, and ultrasonic cleaning. The method is applied to the fabrication of two 3D model structures, surface structuring of a cylinder and machining of a complex two-level architecture. The absence of debris and of a heat affected zone as well as the resulting surface smoothness are the main advantages of the process. Ways to improve the still limited processing speed are discussed with regards to potential applications.
机译：由于其良好的生物相容性，钛被广泛用于牙科和整形外科植入物以及生物医学微系统。对于这些应用，需要特定的微加工方法。本文介绍了一种新的钛金属电化学微加工的四步法，该方法涉及阳极氧化，准分子激光敏化辐射，阳极溶解和超声清洗。该方法适用于两个3D模型结构的制造，圆柱体的表面结构以及复杂的两级体系结构的加工。该方法的主要优点是没有碎屑和热影响区，以及所产生的表面光滑度。关于潜在的应用，讨论了改善仍然有限的处理速度的方法。

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