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Metal-metal and metal-oxide interaction effects on thin film oxide formation: the Ti/TiO2 and TiO2/Ti cases

机译:金属-金属和金属-氧化物相互作用对薄膜氧化物形成的影响:Ti / TiO2和TiO2 / Ti情况

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摘要

Through Auger electron spectroscopy (AES) and factor analysis (FA), we have studied the effect of metal-metal and metal-oxide interface interactions on the Ti oxide film formation. The passivation of Ti thin film oxidation is a thermally dependent process. It is possible, in consequence, to induce a further oxidation by heating the system. However, the complete oxidation of the thin film cannot be achieved in any case (for films thicker than 2 monolayers (ML)), due to substrate-Ti interactions. On the other hand, for the inverse configuration, metal over oxide, the strong Ti reactivity broadens the interface promoting the appearance of Ti2O3. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved. [References: 22]
机译:通过俄歇电子能谱(AES)和因子分析(FA),我们研究了金属-金属和金属-氧化物界面相互作用对Ti氧化膜形成的影响。 Ti薄膜氧化的钝化是一个与热有关的过程。结果,有可能通过加热系统而引起进一步的氧化。但是,由于基材与Ti的相互作用,在任何情况下(对于厚度大于2个单层(ML)的薄膜)都无法实现薄膜的完全氧化。另一方面,对于相反的构型,金属覆盖氧化物,强的Ti反应性会加宽界面,从而促进Ti2O3的出现。 (C)2003 Elsevier Science B.V.保留所有权利。 [参考:22]

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