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Supervisory control of a rapid thermal multiprocessor

机译：快速热多处理器的监督控制

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An application of supervisory control theory to a piece of semiconductor manufacturing equipment is presented. The approach allows the flexible design and reliable update of processing recipes to accommodate frequently changing manufacturing requirements. An input-output interpretation of supervisory control theory is given. This interpretation leads to a generic implementation scheme for manufacturing systems. A synthesis fixpoint algorithm implementation using binary decision diagrams enables the design of supervisors of realistic size. A sample synthesis for an oxide growth recipe is performed on a state space of the order of 10/sup 6/ states. The actual implementation of the logic sequencing control software for the application under investigation is described.
机译：介绍了监督控制理论在半导体制造设备中的应用。该方法允许灵活的设计和可靠的处理配方更新，以适应经常变化的制造要求。给出了监督控制理论的输入输出解释。这种解释导致了制造系统的通用实施方案。使用二进制决策图的综合定点算法实现使设计具有实际规模的监管程序成为可能。用于氧化物生长配方的样品合成是在10 / sup 6 /状态量级的状态空间上执行的。描述了正在研究的应用程序的逻辑排序控制软件的实际实现。

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