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Modelling surface-micromachined electrothermal actuators

机译：建模表面微加工电热执行器

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A method for the accurate simulation of electrothermal actuators is presented. The model accounts for variations in material parameters that occur over the temperature range at which polysilicon electrothermal actuators are operated. The paper then presents the steps necessary to perform a sequential electrothermal-mechanical analysis using ANSYS modelling software. The model is compared against actuators fabricated using a surface-micromachining process called MUMPs. The literature concerning the material parameters associated with this process that are necessary for the simulation is reviewed.%Une méthode pour la simulation précise d'actuateurs électrothermiques est présentée. Le modèle tient compte de variations dans les paramètres matériels qui se produisent sur l'étendue de température à laquelle les actuateurs électrothermiques en polysilicone sont opérés. L'article présente ensuite les étapes nécessaires à la réalisation d'une analyse séquentielle électrothermique-mécanique en utilisant le logiciel de modélisation ANSYS. Le modèle est comparé à des actuateurs fabriqués en utilisant un procédé de micromachination à la surface appelé MUMPs. La littérature concernant les paramètres matériels associés à ce procédé et nécessaires à la simulation est révisée.
机译：提出了一种精确模拟电热执行器的方法。该模型考虑了在运行多晶硅电热致动器的温度范围内材料参数的变化。然后，本文介绍了使用ANSYS建模软件执行顺序电热机械分析所需的步骤。将模型与使用称为MUMP的表面微加工工艺制造的执行器进行比较。回顾了与该过程相关的材料参数的文献，这些材料是模拟所必需的。％提供了一种精确模拟电热执行器的方法。该模型考虑了在运行聚硅氧烷电热致动器的温度范围内发生的材料参数变化。然后，本文介绍了使用ANSYS建模软件进行电热机械顺序分析所需的步骤。将模型与使用称为MUMP的表面微机械加工工艺制造的执行器进行比较。修改了与该过程相关的硬件参数以及仿真所必需的文献。

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