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机译：lEST开始研究纳米技术标准

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A working group of the US Institute of Environmental Sciences and Technology (IEST) is to embark on a new International Standard addressing nanoscale facilities as part of the ISO 14644 Series, Cleanrooms and associated controlled environments. The WG 10: Nanotechnology Group will begin work this year on a preliminary scope that would specify the minimum requirements for design, operations, monitoring, and testing of nanotechnology facilities in those respects in which they differ from cleanrooms, as described in ISO 14644-4 (Design, construction and start-up) and 14644-5 (Operations).

机译：美国环境科学技术研究院（IEST）的工作组将着手制定一项新的国际标准，以应对纳米级设施，这是ISO 14644系列，洁净室及相关受控环境的一部分。 WG 10：纳米技术小组将于今年开始初步工作，该工作将规定与洁净室不同的方面对纳米技术设施的设计，操作，监控和测试的最低要求，如ISO 14644-4所述。（设计，建造和启动）和14644-5（运营）。

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《Cleanroom technology》 |2009年第11期|8|共1页
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