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首页> 外文期刊>Computer Methods in Applied Mechanics and Engineering >A dual-mixed hybrid formulation for fluid mechanics problems: Mathematical analysis and application to semiconductor process technology
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A dual-mixed hybrid formulation for fluid mechanics problems: Mathematical analysis and application to semiconductor process technology

机译：解决流体力学问题的双重混合混合配方：数学分析及其在半导体工艺技术中的应用

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In this paper we propose a dual-mixed hybrid formulation capable of treating under a unified framework both compressible and incompressible problems in continuum mechanics. A theoretical analysis of the method is carried out and optimal error estimates are derived for both mixed and hybrid variables. The potentialities of the novel approach are exploited in the computation of the stress field required in the simulation of the thermal oxidation process in semiconductor technology. The numerical formulation is validated both on model problems in continuum mechanics and on a realistic example of the thermal oxidation process in a local oxidation structure.
机译：在本文中，我们提出了一种能够在统一框架下处理连续力学中可压缩和不可压缩问题的双重混合混合配方。对该方法进行了理论分析，并获得了混合变量和混合变量的最佳误差估计。在模拟半导体技术中的热氧化过程所需的应力场的计算中，利用了这种新方法的潜力。数值公式在连续力学中的模型问题和局部氧化结构中热氧化过程的实际示例中均得到验证。

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