On the application of the BGK kinetic model to the analysis of gas-structure interactions in MEMS

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• 来源
  《Computers & Structures》 |2007年第14期|p.810-817|共8页
• 作者

  A. Frangi; A. Frezzotti; S. Lorenzani;

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• 作者单位

  Department of Structural Engineering, Politecnico di Milano, P.za L. da Vinci 32, 20133 Milano, Italy;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 计算技术、计算机技术;
• 关键词

  MEMS; BGK model; boltzmann equation; damping; silicon; gas flow;

  机译：MEMS;BGK模型;boltzmann方程;阻尼;硅;气体流量;