• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Analytical Sciences >Parallel-Plate Wet Denuder Coupled Ion Chromatograph for Near-Real-Time Detection of Trace Acidic Gases in Clean Room Air
【24h】

Parallel-Plate Wet Denuder Coupled Ion Chromatograph for Near-Real-Time Detection of Trace Acidic Gases in Clean Room Air

机译：平行板湿式剥蚀仪耦合离子色谱仪，用于近实时检测洁净室内空气中的痕量酸性气体

获取原文
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

This paper describes the performance of our automated acidic (CH_(3)COOH, HCOOH, HCl, HNO_(2), SO_(2), and HNO_(3)) gases monitor utilizing a parallel-plate wet denuder (PPWD). The PPWD quantitatively collects gaseous contaminants at a high sample flow rate (～8 dm~(3) min~(?1)) compared to the conventional methods used in a clean room. Rapid response to any variability in the sample concentration enables near-real-time monitoring. In the developed monitor, the analyte collected with the PPWD is pumped into one of two preconcentration columns for 15 min, and determined by means of ion chromatography. While one preconcentration column is used for chromatographic separation, the other is used for loading the sample solution. The system allows continuous monitoring of the common acidic gases in an advanced semiconductor manufacturing clean room.
机译：本文介绍了我们使用平行板湿式剥蚀仪（PPWD）的自动酸性（CH_（3）COOH，HCOOH，HCl，HNO_（2），SO_（2）和HNO_（3））气体监测仪的性能。与在洁净室中使用的常规方法相比，PPWD以较高的样品流速（〜8 dm〜（3）min〜（？1））定量收集气态污染物。对样品浓度变化的快速响应可实现近实时监控。在开发的监测器中，将用PPWD收集的分析物泵入两个预浓缩柱之一中15分钟，然后通过离子色谱法测定。虽然一个预浓缩柱用于色谱分离，但另一个用于装载样品溶液。该系统允许在先进的半导体制造洁净室中连续监测常见的酸性气体。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号