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【24h】

Micro Array Hole Formation in Glass Using Electrochemical Discharge Machining

机译：电化学放电加工在玻璃中形成微阵列孔

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With the widespread application of non-conducting tough materials, such as glass in MEMS recentyears, many difficulties have arisen in the processing of these kind of material with eigen-structurecharacteristics. In this paper, based on the technical advantages of electrochemical dischargemachining, the mechanism of tool electrode structure and process parameters for the stability of gasfilm, processing efficiency and forming quality is analysed, and the machining of a glass micro-arrayhole is accomplished by obtaining the optimal process parameters.
机译：近年来，随着非导电韧性材料（如玻璃）在MEMS中的广泛应用，在处理具有本征结构特征的这类材料时出现了许多困难。本文基于电化学放电加工的技术优势，分析了工具电极的结构机理和工艺参数对气膜稳定性，加工效率和成型质量的影响，并通过对玻璃微阵列孔的加工获得了结果。最佳工艺参数。

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