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多晶硅定向凝固铸锭炉热场改进数值模拟研究

机译：多晶硅定向凝固铸锭炉热场改进数值模拟研究

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多晶硅定向凝固铸锭炉的热场对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文利用CGSim软件对多晶硅铸锭炉热场的底部边缘、侧边增加保温材料的改进并进行了数值模拟研究，与未改进的热场进行了对比，分析了这些改进对温场、流场和固液生长界面的影响。模拟结果表明，热场改进后，等温线在坩埚底部边缘和侧边部位变得平缓，抑制了坩埚底部边缘的散热以及边缘横向晶的产生，熔体流动更加有利于杂质排出，多晶硅的定向凝固生长质量得到了提高。
机译：多晶硅定向凝固铸锭炉的热场对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文利用CGSim软件对多晶硅铸锭炉热场的底部边缘、侧边增加保温材料的改进并进行了数值模拟研究，与未改进的热场进行了对比，分析了这些改进对温场、流场和固液生长界面的影响。模拟结果表明，热场改进后，等温线在坩埚底部边缘和侧边部位变得平缓，抑制了坩埚底部边缘的散热以及边缘横向晶的产生，熔体流动更加有利于杂质排出，多晶硅的定向凝固生长质量得到了提高。

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