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Mechanical Characterization of Micro/Nano Structures

机译：微米/纳米结构的机械表征

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This paper reviews some of the important characterization techniques used to evaluate the mechanical propertiesof the micro or nanostructures and components. Three techniques based on AFM, nanoindentation and electric fieldinduced resonance excitation methods were discussed in detail. In the following section mechanical characteristics oftypical semiconducting or metallic materials with an emphasis on their microano components are discussed. The influenceof cross-section dimensions on the quasi-static strength of single and poly crystalline silicon micro specimens inbending and tension is examined. The differences in mechanical properties, testing methods and specimen dimensionswere analyzed based on the recently reported data. A simple empirical correlation is presented with interpretation of theexperimental data.
机译：本文回顾了一些重要的表征技术，这些技术用于评估微结构或纳米结构和部件的机械性能。详细讨论了基于原子力显微镜，纳米压痕和电场诱导共振激发方法的三种技术。在以下部分中，将讨论典型的半导体或金属材料的机械特性，重点是它们的微/纳米成分。研究了横截面尺寸对单晶和多晶硅微试样弯曲和拉伸的准静态强度的影响。根据最近报告的数据分析了机械性能，测试方法和样品尺寸的差异。通过对实验数据的解释，给出了一种简单的经验相关性。

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