元素六美国硅谷工厂增加光学级CVD金刚石产能——一助推激光等离子体极紫外光刻技术发展

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机译：元素六美国硅谷工厂增加光学级CVD金刚石产能——一助推激光等离子体极紫外光刻技术发展

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摘要

人造金刚石为二氧化碳激光器光学元件提供无与伦比附陛能。它可承受高能量激光，能够实现颇具成本效益和高通量的极紫外光刻加工。

机译：人造金刚石为二氧化碳激光器光学元件提供无与伦比附陛能。它可承受高能量激光，能够实现颇具成本效益和高通量的极紫外光刻加工。

来源
《磨料磨具通讯》 |2013年第002期|P.18-18|共1页
作者
翟世超（编译）;
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作者单位

北京沃尔德超硬工具有限公司;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光物理和基本理论;
关键词
极紫外光刻技术; 激光等离子体; CVD金刚石; 美国硅谷; 光学级; 二氧化碳激光器; 助推; 产能;

机译：极紫外光刻技术;激光等离子体;CVD金刚石;美国硅谷;光学级;二氧化碳激光器;助推;产能;