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GaInAs/InP pin photodetectors integrated with glass waveguides

机译:与玻璃波导集成的GaInAs / InP引脚光电探测器

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摘要

GaInAs/InP pin photodetectors K/sup +/-exchanged channel glass waveguides have been integrated using substrate etch-off, a variation of epitaxial lift-off. Coupling of 1.3 mu m wavelength light from the single mode glass waveguide to the photodetectors is characterised and is found to be in good agreement with calculated values.
机译:GaInAs / InP引脚光电检测器K / sup +/-交换的通道玻璃波导已使用衬底蚀刻(一种外延剥离的变体)进行了集成。从单模玻璃波导到光电探测器的1.3μm波长光的耦合被表征,并且发现与计算值高度吻合。

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