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Design and manufacturing of heterogeneous microsystems for micro- and nanotechnology applications

机译：用于微米和纳米技术应用的异构微系统的设计和制造

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Obserwowany na przestrzeni ostatnich 40 lat post?p w dziedzinie technologii mikroelektronicznych zwi?zany jest bezpo?rednio z rozwojem i powstawaniem nowych narz?dzi technologicznych. Nale?y zaznaczy?, i? narz?dzia te przyczyni?y si? równie? do powstania szeregu ró?norodnych, wielofunkcyjnych, zintegrowanych struktur. Struktury (przyrz?dy) te, nazywane MEMS (ang. Micro-Electro-Mechanical-System) lub MOEMS (ang. Micro-Electro-Opto-Mechanical-System) integruj? w ramach jednego systemu elementy mikromechaniczne i mikroelektroniczne, co otwiera wiele nowych interdyscyplinarnych zastosowań jak np. badania w mikro- i nanoskali. W artykule autorzy przedstawiaj? wybrane zagadnienia zwi?zane z projektowaniem i wytwarzaniem tego typu heterogenicznych mikrosystemów. Ponadto w artykule przedstawione zosta?y przyk?ady wykorzystania technologii krzemowej do wytworzenia mikrosystemów oraz ich zastosowania w mikro- i nanoskali.%Tremendous progress of microelectronic technology observed within last 40 years is closely related to even more remarkable progress of technological tools. However it is important to note, that these new tools may be used for fabrication of diverse multifunctional, integrated structures as well. Such devices, called MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) and MOEMS (Micro-Electro-Opto-Mechanical-System) integrate microelectronic and micromechanical structures in one system enabling interdisciplinary application, with most interesting and prospective being micro- and nanoscale investigations. In this paper, authors present some issues on heterogeneous microsystems design and manufacturing. Examples of various applications of microelectronic technology for fabrication of microsystems which may be used for micro- and nanoscale application are also presented.
机译：过去40年中观察到的微电子技术领域的进展与新技术工具的发展和出现直接相关。请指出，并且？这些工具有助于如？创建许多不同的，多功能的，集成的结构。这些被称为MEMS（微机电系统）或MOEMS（微光电机械系统）的结构（仪器）是否集成？在一个系统中，微机械和微电子组件将打开许多新的跨学科应用，例如微尺度和纳米尺度的研究。在本文中，作者在场与这类异类微系统的设计和生产相关的选定问题。此外，本文还介绍了使用硅技术生产微系统的示例及其在微米和纳米级的应用。％近40年来所观察到的微电子技术的巨大进步与技术工具的显着进步密切相关。然而，重要的是要注意，这些新工具也可以用于制造各种多功能，集成结构。这种被称为MEMS（微电子机械系统）和MOEMS（微电光机械系统）的设备将微电子和微机械结构集成在一个可以跨学科应用的系统中，其中最有趣和最有前途的是微米和纳米级研究。在本文中，作者提出了有关异构微系统设计和制造的一些问题。还提供了微电子技术在微系统制造中的各种应用实例，该微系统可用于微米和纳米规模的应用。

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