...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Przeglad Elektrotechniczny >Aparaturowe ograniczenia pomiaru kinetyki pojemności w metodzie DLTS
【24h】

Aparaturowe ograniczenia pomiaru kinetyki pojemności w metodzie DLTS

机译：DLTS方法中容量动力学测量的仪器限制

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

This article presents deep level transient spectroscopy (DLTS) applied as a tool of investigation of low resistive semiconductor materials. In this contribution we focus on limitations of measurement of capacitance kinetics performed by means of ready-made meters. In our case Boonton 7200 capacitance meter was used. Additional unit placed at the meter's input was designed. The unit allows to extend range of duration of excitant pulses. Measurements with pulses shorter than microsecond and longer than minutes were possible. A procedure of correction of nonlinearity introduced by additional unit was described.%W pracy przedstawiono metodę niestacjonarnej spektroskopii pojemnościowej DLTS stosowaną do badania centrów defektowych w materiałach półprzewodnikowych niskorezystywnych. Wskazano ograniczenia procesu pomiaru niestacjonarnych przebiegów pojemności próbki przy zastosowaniu w systemie pomiarowym typowych, fabrycznych mierników pojemności na przykładzie miernika Boonton 7200. Zaproponowano dodatkową głowicę do miernika umożliwiającą wykonanie pomiarów w szerokim zakresie czasów pobudzeń próbki, do zakresu submikrosekundowego włącznie. Przedstawiono procedurę korekcji nieliniowości wprowadzanych przez ten układ.
机译：本文介绍了用作研究低电阻半导体材料的工具的深层瞬态光谱（DLTS）。在这一贡献中，我们重点介绍了通过现成的仪表进行电容动力学测量的局限性。在我们的案例中，使用的是Boonton 7200电容表。设计了放置在仪表输入端的附加单元。该单元允许扩展激发脉冲的持续时间范围。脉冲短于微秒而长于分钟的测量是可能的。描述了由附加单元引入的非线性校正程序。％本文介绍了用于测试低阻半导体材料中缺陷中心的非平稳DLTS电容光谱法。当以Boonton 7200仪表为例在测量系统中使用典型的工厂制造的容量仪表时，表明了非固定样本容量波形的测量过程的局限性。建议使用额外的仪表头，从而可以在很宽的样本刺激时间范围内进行测量，直至并包括亚微秒范围。介绍了该系统引入的非线性校正程序。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号