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On-chip thermoelectric module comprised of oxide thin film legs

机译：片上热电模块，由氧化物薄膜支腿组成

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On-chip thermoelectric thin film modules containing 5 legs of n-type (Al0.02Zn0.98O) and 5 legs of p-type (Ca3Co4O9) were fabricated on Al2O3, SrTiO3 single crystal, and fused silica substrates by pulsed laser deposition technique. Performance of modules was evaluated using ad hoc customized system where the module was set vertically for temperature gradient. The maximum output power (P-max) was obtained on Al2O3 (0001) single crystal substrate with temperature difference (Delta T) = 230 degrees C (T-h = 300 degrees C): P-max = 29.9 pW. The value of maximum output power increases with increase of temperature difference (Delta T) These results are encouraging for the practical applications of thermoelectric oxide thin films. (C) 2016 Elsevier Ltd. All rights reserved.
机译：通过脉冲激光沉积技术，在Al2O3，SrTiO3单晶和熔融石英衬底上制造了包含5个n型腿（Al0.02Zn0.98O）和5个p型腿（Ca3Co4O9）的片上热电薄膜模块。使用临时定制系统评估模块的性能，其中将模块垂直设置为温度梯度。在Al2O3（0001）单晶衬底上获得最大输出功率（P-max），温度差（Delta T）= 230摄氏度（T-h = 300摄氏度）：P-max = 29.9 pW。最大输出功率的值随温度差（ΔT）的增加而增加。这些结果对于热电氧化物薄膜的实际应用是令人鼓舞的。 （C）2016 Elsevier Ltd.保留所有权利。

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