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【24h】

PROCÉDÉ D'ADHÉRENCE MOLÉCULAIRE (WDB) POUR LA MICROOPTIQUE INTÉGRÉE: APPLICATION À LA RÉALISATION DE GUIDES D'ONDE ENTERRÉS SUR VERRE

机译：集成微光学的分子粘附方法（WDB）：在玻璃中浸渍波导的生产中的应用

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Nous présentons ici une nouvelle méthode de réalisation de guides optiques sur verre, profondément enterrés, par assemblage de guides de surface obtenus par échange d'ions. La technique d'adhérence moléculaire (WDB: Wafer Direct Bonding), déjà utilisée en microélectronique, donne d'excellents résultats en micro-optique.%The authors focus on the low-temperature direct bonding of Pyrex glass wafers. A deeply-buried optical waveguide is made by direct bonding of two planar waveguides. Optical properties of the component are studied. The advantages of this new process are summarized and compared with other techniques.
机译：在这里，我们介绍了一种通过组装通过离子交换获得的表面光导在深埋的玻璃上制作光导的新方法。微电子中已经使用的分子粘附技术（WDB：Wafer Direct Bonding）在微光学中具有出色的结果。％作者着重于Pyrex玻璃晶片的低温直接粘合。通过将两个平面波导直接粘合在一起，制成了深埋式光波导。研究了组件的光学性质。总结了此新方法的优点，并将其与其他技术进行了比较。

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