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Deep proton lithography, a fabrication tool for micro-optical components

机译：深质子光刻，一种用于微光学元件的制造工具

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Deep proton irradiation in poly-(methyl methacrylate) (PMMA) is a method for the fabrication and monolithic integration of microoptical components offering good stability and interesting potential of self-alignment. The three basic steps of the process are : the main chain scission in the polymer matrix introduced by the proton irradiation, the dissolution of the irradiated domains in a developer and the swelling of the irradiated domains in monomer vapor in order to fabricate microlenses. Simulations and measurements show how the process works and what are the control parameters. Finally a set of examples is presented showing the spectrumfrom single elements to integrated composite structures: microlenses, microprisms, microbeamsplitters and fiber connector arrays with the fibers self-aligned to their corresponding collimator lenses.%L' irradiation en volume de poly (méthyle méthacrylate) (PMMA) est un procédé d' intégration monolithique de composants micro-optiques qui associe une bonne stabilité et d'intéressantes propriétés d'auto-alignement. Nous présentons les trois processus de base: la rupture des chaînes polymériques par l'irradiation protonique suivie soit de la dissolution des parties irradiées soit de leur gonflement par repolymérisation dans une vapeur organique convenable. La modélisation tient compte de la diffusion des protons et de la dépendance de leur section efficace par rapport à leur énergie. Nous décrivons enfin une série de composants et de combinaisons monolithiques déjà testées: microlentilles et « minilentilles », microprismes, séparatrices, connecteurs de fibres auto-alignés devant une microlentille collimatrice.
机译：聚（甲基丙烯酸甲酯）（PMMA）中的深质子辐照是一种制造和单片集成微光学组件的方法，该组件具有良好的稳定性和有趣的自对准潜力。该方法的三个基本步骤是：通过质子辐照引入的聚合物基体中的主链断裂，显影剂中辐照区的溶解以及单体蒸气中辐照区的溶胀以制造微透镜。仿真和测量显示了过程如何进行以及什么是控制参数。最后给出了一组示例，显示了从单元素到集成复合结构的光谱：微透镜，微棱镜，微分束器和光纤连接器阵列，其中光纤与相应的准直透镜进行了自动对准。％L'辐射聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）一体化整体结构的微型优化器，并具有良好的自对准性。基本法律程序：多产的破裂的质子链，质子的再散布，多方的和可转让的组织权。质子扩散和质子扩散效果的最佳方法。单体和组合的构想：微型扁豆和“微型扁豆”，微型树脂，分离器，纤维连接器和微型扁桃体自动对准。

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