ベロブスカイト酸化物界面の原子層成長制御

大友　明

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ベロブスカイト酸化物界面の原子層成長制御

机译：碳化钙钛矿界面的原子层生长控制

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最近，異なる金属酸化物の界面が示す新奇な物性に関心が集まっている。界面電子状態の解明や制御に向けた実験的アプローチでは，エビタキシヤル薄膜の原子層成長技術が必要不可欠である。本稿では，パルスレーザー堆積法による成長機構について，動力学的な観点から説明を試みる。また，界面の原子層制御技術の現状について，いくつか例をあげて紹介する。

机译：近来，人们对不同金属氧化物的界面的新颖物理性质引起了极大的兴趣。对于阐明和控制界面电子状态的实验方法而言，用于外延薄膜的原子层生长技术是必不可少的。在本文中，我们试图从动态的角度来解释脉冲激光沉积方法的生长机理。另外，我们将介绍一些接口上原子层控制技术的当前示例。

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来源
《機能材料》 |2008年第3期|p.15-20|共6页
作者
大友　明;
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作者单位

東北大学　金属材料研究所;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类工程基础科学;工程材料学;
关键词

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