酸化物半導体の薄膜トランジスタへの応用

野村研二; 神谷利夫; 太田裕道; 平野正浩; 細野秀雄

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酸化物半導体の薄膜トランジスタへの応用

机译：氧化物半导体在薄膜晶体管中的应用

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近年の急速な電子通信・情報システムへの要求の高度化・多様化に伴い，光・電子デバイスへの要求も複雑化してきている。われわれはこのような問題に対し，酸化物をベースとした新しい半導体材料を開発することで，これらの要求に応えようと考えている。本章では，酸化物半導体の薄膜トランジスタ（TFT）への応用について紹介する。

机译：随着近年来对电子通信和信息系统的需求变得越来越复杂和多样化，对光学和电子设备的需求变得更加复杂。我们打算通过针对这些问题开发新的基于氧化物的半导体材料来满足这些需求。本章介绍了氧化物半导体在薄膜晶体管（TFT）中的应用。

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来源
《機能材料》 |2008年第3期|p.42-53|共12页
作者
野村研二; 神谷利夫; 太田裕道; 平野正浩; 細野秀雄;
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作者单位

(独)科学技術振興機構;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类工程基础科学;工程材料学;
关键词

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