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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Magnetics >Ultra low flying height measurements using monochromatic and phase demodulated laser interferometry
【24h】

Ultra low flying height measurements using monochromatic and phase demodulated laser interferometry

机译：使用单色和相位解调激光干涉仪进行超低飞行高度测量

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Phase demodulated laser interferometry and three wavelength monochromatic interferometry are employed to measure the flying height at the slider-disk interface in the sub-100 nanometer spacing range. Phase demodulated laser interferometry measures the relative displacement of the slider using the actual slider and disk, while three wavelength monochromatic interferometry measures the absolute flying height of the slider using a transparent disk and an actual slider. The results from both techniques are found to agree down to the "landing height", i.e., the height when the slider is "resting" on the top of the disk asperities. Landing heights are found to follow the peak-to-valley disk surface roughness.
机译：相位解调激光干涉测量法和三波长单色干涉测量法被用来测量在小于100纳米间距范围内的滑块-磁盘界面处的飞行高度。相位解调激光干涉术使用实际的滑块和磁盘来测量滑块的相对位移，而三波长单色干涉术使用透明的磁盘和实际的滑块来测量滑块的绝对飞行高度。发现两种技术的结果一致到“着陆高度”，即，当滑块“搁置”在磁盘粗糙的顶部时的高度。发现着陆高度遵循峰-谷盘表面粗糙度。

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