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Magnetic properties of Fe-Ta-(b)-N films

机译：Fe-Ta-（b）-N薄膜的磁性

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The in-plane magnetic anisotropy and thickness dependence of soft magnetic properties for Fe-Ta-N films near the eutectic composition, annealed either in a rotating magnetic field, in a static field, or with no magnetic field, were investigated in detail. The soft magnetic films were prepared by RF reactive sputtering. The films with thicknesses greater than around 2 mu m have good soft magnetic properties. For those with thicknesses less than around 1 mu m, the soft magnetic properties deteriorate and the domain structure changes with decreasing thickness. The films annealed without magnetic field or in a rotating field have an isotropic high permeability ( mu '
机译：详细研究了在旋转磁场，静态磁场或无磁场条件下退火的共晶成分附近的Fe-Ta-N薄膜的面内磁各向异性和软磁特性的厚度依赖性。通过RF反应溅射制备软磁膜。厚度大于约2μm的膜具有良好的软磁性能。对于厚度小于1μm的那些，软磁性能劣化并且畴结构随着厚度减小而改变。在没有磁场或没有旋转场的情况下退火的薄膜具有各向同性的高磁导率（在1 MHz下，mu'<或= 5000）和低各向异性场（H / sub k /大约= 50 A / m），而对于薄膜在静态磁场中退火后，会引起单轴各向异性。各向异性随着氮浓度的增加而增加。另外，在Fe-Ta-N体系中添加了B，研究了Fe-Ta-B-N膜的结构与软磁性之间的关系。通过在Fe-Ta-N体系中添加B，可以改善软磁性能的热稳定性。

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