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首页> 外文期刊>Magnetics, IEEE Transactions on >Bit Patterned Media at 1 Tdot/in$^{2}$ and Beyond
【24h】

Bit Patterned Media at 1 Tdot/in$^{2}$ and Beyond

机译：1 Tdot / in $ ^ {2} $ 及更高版本的位模式化媒体

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Bit patterned media (BPM) provide an alternative to conventional granular thin film recording media, circumventing the challenges of managing grain size and its associated noise and thermal stability issues in granular media. A viable fabrication strategy involves creation of a master pattern by rotary-stage e-beam lithography and directed self-assembly of block copolymers, followed by pattern replication via UV-cure nanoimprint lithography and pattern transfer to a magnetic thin film by ion beam etching. These steps have been demonstrated for 150 Gdot/cm $^{2}$ (1 Tdot/in$^{2}$ ) hcp patterns, achieving a dot placement tolerance of 1.2 nm $1sigma$ and a defect rate of ${<}10^{-3}$ . Media samples fabricated in this manner from continuous CoCrPt alloy films have achieved a $1sigma$ switching field distribution of 4% of ${mbi H}_{mmb c}$. A 2T medium SNR of nearly 14 dB and a write bit error rate of 2$,times,$10$^{-3}$ have been shown using a static tester with a conventional product read/write head. Modeling and experiment suggest that higher recording density can be achieved using BPM with a bit aspect ratio (BAR) ${>} 1$. A master pattern generation generation strategy for BAR$ > 1$ with rectangular islands is shown using intersecting lines generated by directed self-assembly of lamellar block copolymer- in combination with spacer-defined line doubling.
机译：位图介质（BPM）提供了常规颗粒状薄膜记录介质的替代方法，从而规避了在颗粒状介质中管理晶粒尺寸及其相关噪声和热稳定性问题的挑战。可行的制造策略包括通过旋转阶段电子束光刻技术创建主图案，并进行嵌段共聚物的定向自组装，然后通过UV固化纳米压印光刻技术进行图案复制，并通过离子束蚀刻将图案转移至磁性薄膜。这些步骤已针对150 Gdot / cm <公式Formulatype =“ inline”> $ ^ {2} $ （1 Tdot / in <公式Formulatype =“ inline“> $ ^ {2} $ ）hcp模式，实现了1.2 nm的点放置公差。 $ 1sigma $ 和缺陷率 $ {<} 10 ^ {-3} $ 。以这种方式从连续的CoCrPt合金薄膜制成的介质样品已实现了<配方公式类型=“ inline”> $ 1sigma $ 转换场分布，其占<配方的4％ Formulatype =“ inline”> $ {mbi H} _ {mmb c} $ 。 2T中等SNR接近14 dB，写入误码率为2 <公式> = <倍数> $，times，$ 10 <公式=已经使用带有常规产品读/写头的静态测试仪显示了“ inline”> $ ^ {-3} $ 。建模和实验表明，使用位长宽比（BAR）的BPM可以实现更高的记录密度。<公式公式类型=“ inline”> $ {>} 1 $ 。使用有向自组装生成的相交线显示具有矩形岛的BAR $> 1 $ 的主模式生成策略层状嵌段共聚物的组合与间隔物定义的线加倍结合。

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