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首页> 外文期刊>IEEE transactions on nanotechnology >Parallel Conductive-AFM Lithography on LaAlO$_{3}$ /SrTiO$_{3}$ Interfaces
【24h】

Parallel Conductive-AFM Lithography on LaAlO$_{3}$ /SrTiO$_{3}$ Interfaces

机译：LaAlO $ _ {3} $ / SrTiO $ _ {3} $界面上的平行导电AFM光刻

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Nanoscale devices can be created at the LaAlO$_{3}$ /SrTiO$_{3}$ interface by metastable charging of the top LaAlO $_{3}$ surface with a voltage-biased conductive-atomic force microscope (c-AFM) tip. In order to create scalable nanoelectronic circuits, it will be important to develop procedures that allow multiple tips to “write” nanostructures in parallel. Here, we demonstrate parallel writing of conductive nanostructures at the LaAlO$_{3}$/SrTiO $_{3}$ interface using an array of c-AFM tips. Independent control over the writing process for each tip is achieved by holding the tip array at a fixed potential and varying the voltage applied to individual electrodes. The approach developed here should be applicable to 2-D tip arrays with millions of probes.
机译：可以在LaAlO $ _ {3} $ / SrTiO $ _ {3} $ 接口通过对顶部LaAlO进行亚稳态充电 $ _ {3} $ 表面带有电压偏置的导电原子力显微镜（c-AFM）尖端。为了创建可扩展的纳米电子电路，开发允许多个尖端并行“写入”纳米结构的程序将非常重要。在这里，我们展示了在LaAlO $ _ {3} $ / SrTiO $ _ {3} $ 接口，使用了一系列c-AFM技巧。通过将笔尖阵列保持在固定电位并改变施加到各个电极的电压，可以实现对每个笔尖的写入过程的独立控制。此处开发的方法应适用于具有数百万个探头的二维尖端阵列。

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