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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Design and simulation of coupled-resonator filters using periodically slotted electrodes on FBARs [Correspondence]
【24h】

Design and simulation of coupled-resonator filters using periodically slotted electrodes on FBARs [Correspondence]

机译：在FBAR上使用周期性开缝电极的耦合谐振滤波器的设计和仿真[对应]

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This paper discusses the use of periodically slotted top electrodes in the film bulk acoustic resonator (FBAR) structure for the realization of wideband coupled-resonator filters (CRFs), where evanescent modes in the periodic structure are used for the coupling between adjacent electrodes. First, wave propagation in this structure is investigated. Finite element analysis is performed for the Mo/ZnO/Mo structure. The result suggests that lateral wave propagation is controlled by the Bragg reflection, and that transverse modes can be suppressed when the structure is properly designed. Next, a CRF is designed. It is shown that wideband CRFs are realizable when the period, thickness, and width of slotted electrodes are properly set.
机译：本文讨论了膜体声波谐振器（FBAR）结构中周期性开槽的顶部电极在宽带耦合谐振器滤波器（CRF）的实现中的应用，其中周期性结构中的escent逝模用于相邻电极之间的耦合。首先，研究这种结构中的波传播。对Mo / ZnO / Mo结构进行了有限元分析。结果表明，横向波的传播受布拉格反射的控制，并且，如果结构设计合理，则可以抑制横向波模。接下来，设计CRF。结果表明，适当设置缝隙电极的周期，厚度和宽度可以实现宽带CRF。

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