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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Parametric linear modeling of circular cMUT membranes in vacuum
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Parametric linear modeling of circular cMUT membranes in vacuum

机译：真空中圆形cMUT膜的参数线性建模

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We present a lumped element parametric model for the clamped circular membrane of a capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT). The model incorporates an electrical port and two sets of acoustic ports, through which the cMUT couples to the medium. The modeling approach is based on matching a lumped element model and the mechanical impedance of the cMUT membrane at the resonance frequencies in vacuum. Very good agreement between finite element simulation results and model impedance is obtained. Equivalent circuit model parameters can be found from material properties and membrane dimensions without a need for finite element simulation
机译：我们为电容式微加工超声换能器（cMUT）的圆形夹膜提供了集总元素参数模型。该模型包含一个电端口和两组声端口，cMUT通过这些端口耦合到介质。建模方法基于匹配集总元素模型和真空中共振频率下cMUT膜的机械阻抗。在有限元仿真结果和模型阻抗之间获得了很好的一致性。等效电路模型参数可从材料特性和膜尺寸中找到，而无需进行有限元模拟

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