Ratio for polycrystalline silicon used in disk-shaped microresonators

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• 来源
  《IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control》 |2006年第2期|p.264|共1页
• 作者

  Meitzler A.H.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 声学工程;计量学;
• 关键词

  Poisson ratio; discs (structures); elemental semiconductors; integrated circuit technology; micromechanical resonators; silicon; Poisson ratio; Si; disk-shaped microresonators; homogeneity; integrated circuit technology; isotropy; low-order resonant frequencies;

  机译：泊松比;盘（结构）;元素半导体;集成电路技术;微机械谐振器;硅;泊松比;硅;盘形微谐振器;均匀性;集成电路技术;各向同性;低阶谐振频率;