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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Impact of SAW device passivation on RF performance
【24h】

Impact of SAW device passivation on RF performance

机译：SAW器件钝化对射频性能的影响

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Passivation layers consisting of sputtered Al2O3n have been deposited onto SAW devices for the purpose of reducingnthe incidence of shorts. A coupling-of-modes model was used withnone-port resonators, coupled resonator filters (CRF), and testnstructures. The passivation layer stiffens the surface with a velocitynincrease proportional to t/Λ, where t is the passivation layernthickness. Attenuation is increased slightly, producing a 0.25-dBnincrease in the loss of a one-port resonator at 314 MHz. The effect onnreflectivity is minimal and of much lesser importance to the designer
机译：为了减少短路的发生，由溅射的Al2O3n组成的钝化层已经沉积在SAW器件上。模式耦合模型与无端口谐振器，耦合谐振器滤波器（CRF）和测试结构一起使用。钝化层以与t /Λ成正比的速度增加表面硬度，其中t是钝化层的厚度。衰减稍微增加，在314 MHz时单端口谐振器的损耗增加0.25 dBn。对反射率的影响极小，对设计者而言重要性不大

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