New capabilities for optimizing SAW gas sensors

Anisimkin V.I.; Verona E.

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New capabilities for optimizing SAW gas sensors

机译：优化SAW气体传感器的新功能

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It is shown how the performances of SAW gas sensors can benoptimized based on pure acoustic peculiarities of SAW propagation innanisotropic single crystals. For a given gas and sensitive membrane, thencalibration curve (dependence of the response R versus gas concentrationnn), the sensitivity S (slope of the calibration curve: S=dR/dn), thendetection limit nthr, (cut-off of the curve at the thresholdnRthr), and the resolution Δn of the sensor (recognitionnof two close concentrations) can be controlled by a proper choice of thensubstrate material and its crystallographic orientation (cut andndirection of the SAW propagation). An experimental test of this propertynis performed on SAW devices implemented on different substrate materialsnand crystallographic orientations, both uncoated or coated, with ansorbent membrane of polycrystalline Pd or Pd:Ni film, upon exposure tonhumid air as a test analyte

机译：展示了如何基于SAW传播各向异性的单晶的纯声学特性来优化SAW气体传感器的性能。对于给定的气体和敏感膜，然后是校准曲线（取决于响应R与气体浓度nn的关系），灵敏度S（校准曲线的斜率：S = dR / dn），然后是检测极限nthr（曲线的截止点为阈值nRthr）和传感器的分辨率Δn（两个接近浓度的识别n）可以通过适当选择衬底材料及其晶体学取向（SAW传播的切割方向和n方向）来控制。在暴露于湿湿空气作为测试分析物的情况下，对在不同衬底材料上实现的SAW器件进行了该性能的实验测试，并用多晶Pd或Pd：Ni膜的吸附膜对未涂覆或涂覆的晶体学取向进行了涂覆或未涂覆

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来源
《IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control》 |2001年第5期|p.1413-1418|共6页
作者
Anisimkin V.I.; Verona E.;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类声学工程;计量学;
关键词
calibration; gas sensors; surface acoustic wave sensors; Pd; Pd:Ni; SAW gas sensor; anisotropic single crystal; calibration curve; crystallographic orientation; design optimization; detection limit; humid air; polycrystalline film; resolution; sensitivity; sorbent memb;

机译：校准;气体传感器;表面声波传感器;Pd;Pd：Ni;SAW气体传感器;各向异性单晶;校准曲线;晶体学取向;设计优化;检测极限;潮湿的空气;多晶硅膜;分辨率;灵敏度;吸附剂膜;

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