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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Acoustic wave-based sensors using mode conversion in periodic gratings
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Acoustic wave-based sensors using mode conversion in periodic gratings

机译：在周期光栅中使用模式转换的基于声波的传感器

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Using periodic gratings etched into the surface of a piezoelectric plate, surface acoustic waves (SAW) can be converted into bulk waves and vice versa with high efficiency. If parallel grating structures are fabricated on opposite surfaces of a piezoelectric plate, a SAW also can be directed from one surface to the other. Using such structures, acoustic wave-based sensors can be designed that utilize SAW for the detection of chemical analytes on an electrode-free surface, i.e., the back surface. As a result, spurious sensor response and electrode aging that may occur when a chemical analyte comes in contact with the transducers are minimized. The design principles of these grating-based SAW sensors are explained, and the mass sensitivity is investigated using chemical vapor deposited thin polymer films, a type of material used in many practical chemical sensor applications. Experimental results are presented for the detection of nitrogen dioxide (NO/sub 2/) in sub-ppm concentrations.
机译：使用蚀刻到压电板表面的周期性光栅，可以将表面声波（SAW）高效地转换为体波，反之亦然。如果在压电板的相对表面上制造平行光栅结构，则SAW也可以从一个表面指向另一个表面。使用这样的结构，可以设计基于声波的传感器，其利用SAW来检测无电极表面即背面上的化学分析物。结果，当化学分析物与换能器接触时可能发生的假传感器响应和电极老化被最小化。解释了这些基于光栅的SAW传感器的设计原理，并使用化学气相沉积的聚合物薄膜研究了质量敏感性，聚合物薄膜是许多实际化学传感器应用中使用的一种材料。给出了用于检测亚ppm浓度的二氧化氮（NO / sub 2 /）的实验结果。

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