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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Sputtering preparation of ferroelectric PLZT thin films and their optical applications
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Sputtering preparation of ferroelectric PLZT thin films and their optical applications

机译：铁电PLZT薄膜的溅射制备及其光学应用

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Preparation of epitaxial PLZT thin films on sapphire has been investigated, and excellent ferroelectric properties such as piezoelectricity and electrooptic effect with high transparency were obtained in thin films. Moreover, a preparation process was developed involving the multitarget sputtering method, and strict control of film composition and epitaxial growth with the buffer layer of graded composition were performed. Using these PLZT thin films, some optical applications, including an acoustooptic deflector and an electrooptic guided-light switch, are shown.
机译：已经研究了在蓝宝石上制备外延PLZT薄膜的方法，并在薄膜中获得了优异的铁电性能，如压电性和电光效应以及高透明性。此外，开发了涉及多靶溅射法的制备方法，并且通过梯度成分的缓冲层进行了严格的膜组成和外延生长的控制。使用这些PLZT薄膜，显示了一些光学应用，包括声光偏转器和电光导光开关。

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