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工業用ライン組込み型簡易OCTシステム

机译:工业线内置简易OCT系统

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摘要

レーザ樹脂融着の検査を想定した工業用ライン組込み型rnOCTシステムを開発した。研究ではまず現有の植物用OCTrnシステムを使い,レーザ樹脂融着の試料を計測し,その評rn価を行った。融着部分の確かな判断,ならびに非融着部分rnとの境界を吟味することで開発する工業用OCTのシステムrn構成を得ることができた。開発した工業用OCTシステムはrn植物用OCTシステムと同様の構成で,レーザ樹脂融着の癒rn着速度(50mm/s)への追従を実現している。設計値を満足rnする仕様を得ることができ,基板接合面の評価もコヒーレrnンス長(18.9 μm)を生かした計測結果を得ることができた。
机译:我们已经开发了一条工业生产线内置的rnOCT系统,该系统设计用于激光树脂熔融检查。在研究中,使用现有的植物OCTrn系统测量激光树脂融合的样品,并进行了评估。通过可靠地判断融合部分并检查与非融合部分rn的边界,我们可以获得要开发的工业OCT系统的系统rn配置。研发的工业OCT系统具有与工厂OCT系统相同的配置,并实现了对激光树脂熔合rn粘附速度(50 mm / s)的跟踪。我们能够获得满足设计值的规格,并且能够获得测量结果,该测量结果还利用相干长度(18.9μm)来评估基板接合表面。

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