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Plasma Diagnostics for NH-3 Plasmas Using a Quartz Sensor at Various Pressures

机译：在不同压力下使用石英传感器对NH-3等离子体进行等离子体诊断

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A novel plasma diagnostic method using a quartz sensor (Q-sensor) was applied to the analysis of NH-3 plasmas at various pressures of 19.6-131.0 Pa. The change in the gas composition of the NH-3 plasmas was derived from the change in the Q-sensor output through pressure normalization because the pressure-normalized Q-sensor output depends on the molecular weight and viscosity of the measured gas. The change in the gas composition of the NH-3 plasmas agrees with the results obtained from the gas analysis using a quadrupole mass spectrometer (QMS): the plasma gas composition includes high-density H-2 and low-density N-2. The dissociation ratio of NH3 was compared with measurements obtained using the Q-sensor and QMS, which indicates that Q-sensor measurement is useful as a method of plasma diagnostics for obtaining the gas composition of NH-3 plasmas at 19.6-131.0 Pa.
机译：一种新颖的使用石英传感器（Q传感器）的等离子体诊断方法被用于分析在19.6-131.0 Pa的各种压力下的NH-3等离子体。NH-3等离子体的气体组成变化是由该变化得出的由于压力归一化的Q传感器输出取决于被测气体的分子量和粘度，因此通过压力归一化可以使Q传感器的输出保持不变。 NH-3等离子体的气体成分变化与使用四极杆质谱仪（QMS）进行的气体分析结果一致：等离子体气体成分包括高密度H-2和低密度N-2。将NH3的解离率与使用Q传感器和QMS获得的测量结果进行了比较，这表明Q传感器的测量可用作等离子体诊断方法，以获取19.6-131.0 Pa的NH-3等离子体的气体组成。

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  • 来源
    《Japanese journal of applied physics.Part 1.Regular papers & short notes》 |2011年第1issue2期|p.01AA03.1-01AA03.7|共7页
  • 作者

    Atsushi Suzuki; Hidehiko Nonaka;

  • 作者单位

    National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST),AIST Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan;

    National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST),AIST Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan;

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