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首页> 外文期刊>Japanese journal of applied physics >Decomposition of CF_4 Using Pulsed-Electron-Beam-Generated Atmospheric-Pressure Low-Temperature Plasmas
【24h】

Decomposition of CF_4 Using Pulsed-Electron-Beam-Generated Atmospheric-Pressure Low-Temperature Plasmas

机译：使用脉冲电子束产生的大气压低温等离子体分解CF_4

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Decomposition of CF_4 in an atmospheric-pressure argon-base gas mixture under moisture-saturated conditions (CF4 1000 ppm, 130kPa) is demonstrated using pulsed-electron-beam-generated low-temperature plasmas. A relatively high destruction and removal efficiency (DRE 90% at 6 J/cm~3) was obtained compared with those obtained using discharge-generated plasmas. These results are attributed to enhanced decomposition of CF_4 by argon ions or excited argon species that can be efficiently generated using high-energy electron beams. Methods of scavenging the reactive intermediates from the plasma are also experimentally evaluated to increase the DRE of CF_4 decomposition and discussed with regard to practical abatement devices.
机译：使用脉冲电子束产生的低温等离子体证明了CF_4在大气压氩基气体混合物中的湿气饱和条件（CF4 1000 ppm，130kPa）下的分解。与使用放电产生的等离子体获得的那些相比，获得了相对较高的破坏和去除效率（在6 J / cm〜3时的DRE为90％）。这些结果归因于可以通过高能电子束有效产生的氩离子或受激氩物种对CF_4的分解作用增强。还通过实验评估了从血浆中清除反应性中间体的方法，以增加CF_4分解的DRE，并讨论了有关实际减排设备的方法。

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