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Improvement of Permeation of Solvent-Free Multilayer Encapsulation of Thin Films on Poly(ethylene terephthalate)

机译：聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的无溶剂多层封装渗透性的改善

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In this study, inorganic multilayer thin-film encapsulation is adopted for the first time to protect an organic layer from moisture and oxygen. Inorganic multilayer thin-film encapsulation is deposited onto poly(ethylene terephthalate) (PET) using an electron beam and sputtering. The SiON/SiO_2 and parylene layer show the most suitable properties. Under these conditions, the water vapor transmission rate (WVTR) for PET can be reduced from a level of 0.57 gm~(-2) day~(-1) (bare substrate) to 1 x 10~(-5) g m~(-2) day~(-1) after the application of a SiON and SiO_2 layer. These results indicate that PET/parylene/ SiO_2/SiON barrier coatings have high potential for flexible organic light-emitting diode (OLED) applications.
机译：在这项研究中，首次采用无机多层薄膜封装来保护有机层免受湿气和氧气的影响。使用电子束和溅射将无机多层薄膜封装材料沉积到聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）上。 SiON / SiO_2和聚对二甲苯层显示出最合适的性能。在这些条件下，PET的水蒸气透过率（WVTR）可以从0.57 gm〜（-2）天〜（-1）（裸露底材）降低到1 x 10〜（-5）gm〜（在施加SiON和SiO_2层之后的-2）天〜（-1）。这些结果表明，PET /聚对二甲苯/ SiO_2 / SiON阻隔涂层对于柔性有机发光二极管（OLED）应用具有很高的潜力。

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