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机译:用于光学互连LSI的自旋涂层光波导的制造及其制造工艺对底层金属氧化物半导体电容器的影响
Research Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima University, 1-4-2 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima, Hiroshima 739-8527, Japan;
optical interconnection; optical waveguide; fluorinated polyimide; spin-on-glass; MOS capacitor; charging damage;
机译:用于聚合物光波导制造的硅基底上旋涂薄膜的界面粘合
机译:通过在低压气氛下扩散溶胶-凝胶自旋涂覆的ZnO薄膜来制作扩散Zn的LiNbO_3光波导。
机译:使用复制的无缝大面积聚合物模具制造低损耗光学互连波导
机译:完全嵌入式板电平光学互连柔性聚合物光波导制造工艺的优化与表征
机译:用于光波导的离子自组装单层:加工,制造和表征。
机译:用于光学诱捕和拉曼光谱的集成光子多波导装置:设计制造和性能演示
机译:用于高速光信号处理的硅波导的制作和表征
机译:用于将集成光学波导结构制造成玻璃基板的离子交换过程