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Multistage Polymeric Lens Structures Integrated into Silica Waveguides

机译：集成到石英波导中的多级聚合物透镜结构

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A waveguide lens, composed of multistage polymer-filled thin grooves in a silica planar lightwave circuit (PLC) is proposed and a low-loss structure has been designed. A waveguide lens in a silica slab waveguide has been fabricated using reactive ion etching (RIE) and formed by filling with polymer. Both an imagding optical system and a Fourier-transform optical system can be configured in a PLC using a waveguide lens. It renders the PLC functional and its design flexible. To obtain a shorter focal length with a low insertion loss, it is more effective to use a multistage lens structure. An imaging optical system and a Fourier-transform optical system with a focal length of less than 1000 μm were fabricated in silica waveguides using a multistage lens structure. The lens imaging waveguides incorporate a 16-24-stage lens, with insertion losses of 4-7 dB. A 4 x 4 optical coupler, using a Fourier-transform optical system, utilizes a 6-stage lens with losses of 2-4 dB.
机译：提出了一种波导透镜，该透镜由二氧化硅平面光波电路（PLC）中填充多级聚合物的细槽组成，并设计了一种低损耗结构。二氧化硅平板波导中的波导透镜已使用反应离子蚀刻（RIE）制成，并通过填充聚合物形成。成像光学系统和傅立叶变换光学系统都可以使用波导透镜在PLC中进行配置。它使PLC的功能及其设计变得灵活。为了获得短焦距和低插入损耗，使用多级透镜结构会更有效。使用多级透镜结构，在二氧化硅波导中制造了焦距小于1000μm的成像光学系统和傅立叶变换光学系统。透镜成像波导集成了16-24级透镜，插入损耗为4-7 dB。使用傅里叶变换光学系统的4 x 4光耦合器使用损耗为2-4 dB的6级透镜。

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