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Thermodynamic analyses of thermal evaporation of BaSi_2

机译：Basi_2热蒸发热力学分析

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摘要

Thermal evaporation is a useful method for the deposition of high-quality photovoltaic BaSi2 films. The elemental processes of BaSi2 film formation are, however, complicated due to vapor composition change during BaSi2 evaporation. In this study, we thermodynamically calculate the vapor composition for quantitative explanation of the evaporation process. The Ba and Si vapor fluxes are calculated from relative partial molar enthalpies of Ba and Si in Ba-Si melt. Calculations show a tendency of decreasing Ba vapor flux and increasing Si flux with decreasing mole fraction of Ba in Ba-Si melt, by which the vapor composition change from being Ba-rich to being Si-rich during thermal evaporation of BaSi2 is successfully explained. The calculation results are discussed by comparing with the depth profiles of evaporated films deposited at room temperature and deposition rate. The present results would be useful as a theoretical basis of thermal evaporation of BaSi2. (c) 2020 The Japan Society of Applied Physics
机译：热蒸发是沉积高质量光伏Basi2薄膜的有用方法。然而，由于Basi2蒸发过程中的蒸气组合物变化，Basi2成膜的元素过程是复杂的。在这项研究中，我们热力学地计算蒸发过程的定量解释的蒸气组合物。 BA和Si蒸汽通量由Ba-Si熔体中Ba和Si的相对部分摩尔焓计算。计算表明，通过降低Ba-Si熔体的摩尔分数降低Ba蒸汽通量的趋势，随着BA-Si熔体中的摩尔分数，通过该液体成分从富含Ba的富含Si的富含Si蒸发的Basi2的富含Si蒸发。通过与在室温和沉积速率下沉积的蒸发膜的深度曲线进行比较来讨论计算结果。目前的结果将是Basi2热蒸发的理论基础。 （c）2020日本应用物理学会

著录项

  • 来源
    《Japanese journal of applied physics》 |2020年第sf期|SFFA02.1-SFFA02.4|共4页
  • 作者

    Hara Kosuke O.; Arimoto Keisuke; Yamanaka Junji; Nakagawa Kiyokazu;

  • 作者单位

    Univ Yamanashi Ctr Crystal Sci & Technol Kofu Yamanashi 4008511 Japan;

    Univ Yamanashi Ctr Crystal Sci & Technol Kofu Yamanashi 4008511 Japan;

    Univ Yamanashi Ctr Instrumental Anal Kofu Yamanashi 4008510 Japan;

    Univ Yamanashi Ctr Crystal Sci & Technol Kofu Yamanashi 4008511 Japan;

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