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机译:通过电离簇束沉积和离子注入到单晶C_60薄膜中的C_60单晶薄膜的制备
机译:电离簇束技术制备磁性薄膜的研究
机译:通过等离子体增强原子层沉积法沉积的GeSbTe薄膜的相变特性
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机译:光电离簇光束1.分子间和分子内反应性2.超导薄膜的产生。