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【24h】

In situ compositonal control of advanced HgCdTe-based IR detectors

机译:先进的基于HgCdTe的红外探测器的原位合成控制

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摘要

The application of a feedback control system for maintaining a desired compositonal profile duirng Hg_1-xCd_xTe epitaxy is reported. A spectroscopic ellipsometer monitored the opticla properties of Hg_1-xCd_xTe films during depositon by molecular beam epitaxy. A library of optical constants was established form in situ measurmeents of multiple layers of varying composition. The compositons were subsequently determined ex situ using Fourier transform infrared spectrosocpy.
机译:据报道,反馈控制系统在外延Hg_1-xCd_xTe外延期间保持所需的复合轮廓的应用。椭圆偏振光谱仪通过分子束外延监测Hg_1-xCd_xTe薄膜的光学性质。通过不同组成的多层原位测量建立光学常数库。随后使用傅立叶变换红外光谱仪在原位确定合成物。

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