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首页> 外文期刊>Journal of Crystal Growth >Synthesis of ZnO nanoparticles on Si substrates using a ZnS source
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Synthesis of ZnO nanoparticles on Si substrates using a ZnS source

机译：使用ZnS源在Si衬底上合成ZnO纳米颗粒

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Crystalline ZnO nanoparticles were synthesized on Si substrates with or without a Au catalyst by a chemical vapor deposition (CVD) method using ZnS as the source material. The average sizes are in the range of 40-200 nm and the densities of 10~4?10~(10)cm~(-2). In the absence of an Au catalyst, the average nanoparticle size firstly decreases and then increases with increasing substrate temperature while the nanoparticle density decreases as the substrate temperature increases. In the presence of an Au catalyst, ZnO nanoparticles only grow when the substrate temperature is higher than 300℃ and the higher the substrate temperature the denser the nanoparticles are deposited. The density of the ZnO nanoparticles grown on a Si (111) substrate is higher than that on a Si (100) substrate with or without Au catalyst.
机译：通过化学气相沉积（CVD）方法，使用ZnS作为原料，在具有或不具有Au催化剂的Si衬底上合成了ZnO纳米晶。平均尺寸在40-200nm的范围内，并且密度为10〜4？10〜（10）cm〜（-2）。在不存在Au催化剂的情况下，平均纳米颗粒尺寸首先随着基底温度的升高而减小，然后增大，而随着基底温度的升高，纳米颗粒的密度减小。在金催化剂存在下，ZnO纳米颗粒仅在底物温度高于300℃时才生长，且底物温度越高，纳米颗粒的沉积越致密。在有（或没有）Au催化剂的情况下，在Si（111）衬底上生长的ZnO纳米颗粒的密度高于在Si（100）衬底上。

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