Characterization and leakage current density of radio frequency magnetron sputtered nanocrstalline SrTiO_3 thin films

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• 来源
  《Journal of Crystal Growth》 |2004年第3期|p.271-277|共7页
• 作者

  Moo-Chin Wang; Fu-Yuan Hsiao; Nan-Chun Wu;

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• 作者单位

  Department of Mechanical Engineering, National Kaohsiung University of Applied Sciences, 415 Chien-Kung Road, Kaohsiung, 80782, Taiwan;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 晶体学;
• 关键词

  A1. X-ray diffraction; A2. natural crystal growth; A3. polycrystalline deposition; B1. nanomaterials; B2. dielectric materials; B3. DRAM capacitor;

  机译：A1。 X射线衍射;A2。天然晶体生长;A3。多晶沉积;B1。纳米材料;B2。介电材料;B3。 DRAM电容;