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首页> 外文期刊>Journal of Crystal Growth >Optimized 9 x 2-inch MOVPE reactor for the growth of Al-containing antimonides
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Optimized 9 x 2-inch MOVPE reactor for the growth of Al-containing antimonides

机译：优化的9 x 2英寸MOVPE反应器，用于生长含铝的锑

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The growth of Al-containing antimonides has been proven to be specially challenging. New precursors like dimethylethylamine alane (DMEAA) or tritertiarybutylaluminium (TTBAI) are used due to their low decomposition temperatures. Unfortunately, these precursors suffer from severe prereactions with other metalorganics. Furthermore, the low vapor pressures of these sources limit the economical use in multiwafer MOVPE systems. A new 9 x 2-in substrate configuration has been developed to meet the demands of the growth of Al-containing antimonides in an AlX2600-G3 Planetary Reactor~(~R). This is the first multiwafer reactor that was specifically designed for the growth of antimonides. The major advantages of this configuration are reduced prereactions in the gas phase, high MO efficiency, excellent layer homogeneity and reproducibility.
机译：含铝锑化物的生长已被证明是特别具有挑战性的。由于其分解温度低，所以使用了新的前体，例如二甲基乙胺铝烷（DMEAA）或三叔丁基铝（TTBAI）。不幸的是，这些前体与其他金属有机物发生了严重的预反应。此外，这些源的低蒸气压限制了在多晶片MOVPE系统中的经济使用。已经开发出一种新的9 x 2英寸基板配置，以满足AlX2600-G3行星式反应器（R）中含铝锑化物生长的需求。这是第一个专门为锑化物的生长设计的多晶片反应器。这种配置的主要优点是减少了气相中的预反应，高MO效率，出色的层均匀性和可重复性。

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